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產(chǎn)品中心

-PRODUCT CENTER-

爐管機器人


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產(chǎn)品詳情

  • 參數
  • 安裝尺寸
  • 技術(shù)文件下載
  • 型號 RC-010F-08
    搬運對象 8寸晶圓
    最大負載 5片晶圓
      φ500mm
    運動(dòng)范圍 回轉軸 ±110°
    伸縮軸 400mm
    變距軸 4.7~10mm
    升降軸 1000mm
    搬運速度
    (max)
    回轉軸 360°/s
    伸縮軸 500mm/s
    變距軸 15mm/s
    升降軸 500mm/s
    重量(不含電箱) 70~80kg
  • 爐管機器人.DWG   

    爐管機器人.pdf  

    爐管機器人.x_t   

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