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產(chǎn)品中心

-PRODUCT CENTER-

PRA三手指


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產(chǎn)品詳情

  • 參數
  • 安裝尺寸
  • 技術(shù)文件下載
  • 項目 參數
    晶圓尺寸 6/8寸
    X1軸 行程 385mm
    速度 3750mm/s
    X2軸 行程 385mm
    速度 3750mm/s
    X3軸 行程 385mm
    速度 3750mm/s
    Z軸 行程 1100mm
    速度 1600mm/s
    T軸 行程 330°
    速度 150rpm
    重復定位精度 ±0.1mm;±0.1°
    潔凈度 Class 1@0.1μm
    重量 ≈150kg
    FORK 鋁合金+PEEK托舉
    (X1、X2為吸附)
    Sensor波長(cháng) >600nm
    廠(chǎng)務(wù) 電源 AC220V;50/60HZ
    真空 ≤-80kPa;20NL/min
    環(huán)境 溫度 15-25℃
    濕度 20-60%
  • 三手指PRA-Layout.DWG   

    三手指PRA-Layout.pdf   

    三手指PRA-Layout.STEP   

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