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產(chǎn)品中心

-PRODUCT CENTER-

大負(fù)載晶圓機(jī)器人


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產(chǎn)品詳情

  • 參數(shù)
  • 安裝尺寸
  • 技術(shù)文件下載
  • 項(xiàng)目 內(nèi)容
    驅(qū)動(dòng)方式 R/Z/Theta軸 低壓伺服
    工作行程 R軸(伸出) >700mm   (手臂長(zhǎng)度260mm)
    Z(升降) 300mm
    Theta(旋轉(zhuǎn)) ±170°
    最高速度 R軸(伸出) 700mm/sec
    Z(升降) 500mm/sec
    Theta(旋轉(zhuǎn)) 130deg/sec
    搬運(yùn)振動(dòng)值 0.5g
    重量 50kg
    碰撞停止功能 機(jī)械手具有碰撞停止功能
    功能IO信號(hào) 功能IO/急停/安全光幕等
    通訊方式/調(diào)
    試控制軟件/
    各軸速度可調(diào)節(jié)
    Ethernet/手操器、軟件均可實(shí)現(xiàn)
    軟件開(kāi)發(fā)包 C#版本,滿足對(duì)設(shè)備的各種控制需求
    安全認(rèn)證/CE SEMI認(rèn)證
    負(fù)載 ≤10kg
    重復(fù)定位精度 伸縮±0.1mm;回轉(zhuǎn)軸≤±0.02deg
    潔凈度 ISO Class 1
    噪聲 80dB
    電源 單相AC200~240V/9A 50/60HZ LN GND
    氣源 -40-60Kpa
  • 大負(fù)載晶圓機(jī)器人Z300R260.pdf   

    大負(fù)載晶圓機(jī)器人Z300R260.DWG   

    大負(fù)載晶圓機(jī)器人Z300R260.STEP   

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