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產(chǎn)品中心

-PRODUCT CENTER-

標準大氣晶圓機器人

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產(chǎn)品詳情

  • 參數
  • 安裝尺寸
  • 技術(shù)文件下載
  • 機器人型號 RW-A000D系列標準大氣晶圓機器人
    雙臂標準 雙臂高負載
    性能 行程 Z軸 300/450/500mm
    T軸 0~340deg
    R/W軸 臂展:300mm/360mm
    最高速度 Z軸 500mm/s
    T軸 260deg/s 240deg/s
    R/W軸 1100mm/s 750mm/s
    重復定位精度 Z軸 ±0.1mm
    T軸 ±0.02deg
    R/W軸 ±0.1mm
    概述 控制軸數
    潔凈度 Class 1@0.1um
    負載 1.5kgf(含末端執行器) 4kgf (含末端執行器)
    安裝形式 頂部/底部(安裝)
    線(xiàn)纜長(cháng)度(機器人-控制器) 3m(標準)
    電箱尺寸 400x300x155mm
    I/0接口 5IN;10OUT
    廠(chǎng)務(wù) 電源 單相AC220V,50/60Hz
    氣源 壓縮空氣 0.4~0.5MPa
    真空 -50~-70kPa
  • RW-A022D+FV081(Z450+R190+8Inch Vac Fork).pdf  

    RW-A022D+FV081(Z450+R190+8Inch Vac Fork).DWG   

    RW-A022D+FV081(Z450+R190+8Inch Vac Fork).STEP   

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